发明名称 WIRING STRUCTURAL BODY OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05243404(A) 申请公布日期 1993.09.21
申请号 JP19910081176 申请日期 1991.03.22
申请人 NEC CORP 发明人 HAYAMA NOBUYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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