| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ELEMENT SEPARATING AND CLEANING JIG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05243198(A) |
申请公布日期 |
1993.09.21 |
| 申请号 |
JP19920039996 |
申请日期 |
1992.02.27 |
| 申请人 |
NEC CORP;NEC ENG LTD |
发明人 |
MORI YUUJIROU;KASAMA MASAKAZU |
| 分类号 |
B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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