发明名称 MEZCLAS MOLDEABLES CENTRIFUGAMENTE UTILES PARA FORMAR CAPAS MEJORADORAS DE CONTRASTE EN LA REGION ULTRAVIOLETA PROFUNDA
摘要 La presente invención se refiere a mezclas moldeables centrifugantemente, útiles para aplicar capas mejoradoras de contraste sobre materiales fotorresistentes, capaces de absorber en la región de 200 a 300 nm, caracterizadas porque comprenden en peso: A) 100 partes de solvente inerte; B) 2 a 20 partes de aglutinante orgánico inerte; y C) de 2 a 20 partes de alquil-N-alquil-nitrona de la fórmula:en donde R se selecciona de hidrógeno y un radical alquilo de C(-8); X es un radical monovalente seleccionado de hidrógeno y un radical extractor de electrones seleccionado de la clase que consiste de carboalcoxi, acilo y oxirano; Y es un grupo alifático monovalente seleccionado de R1; y R1 es un radical alquilo de C(1-8), R2 y R3 son radicales monovalentes seleccionados de hidrógeno y alquilo de C(1-8), Z es un miembro seleccionado de hidrógeno, radical alquilo de C(1-8) o un radical extractor de electrones seleccionado de la clase que consiste de nitrilo, carbozlcoxi y acilo, y R y/o Y pueden ser un radical alquileno divalente de C(3-5) o un radical alquileno divalente de C(3-5) sustituído con uno a tres radicales monoalentes, o una mezcla de ellos, seleccionada de la clase que consiste de ciano, halógeno, carboalcoxi, nitro, amino y alquilamino, los cuales radicales divalentes juntos pueden formar un anillo heterocíclico de C(5-7).
申请公布号 MX170825(B) 申请公布日期 1993.09.20
申请号 MX19880012485 申请日期 1988.07.29
申请人 MICROSI INC. 发明人 GARY CHARLES DAVIS
分类号 G03F7/095;G03F7/09;G03F7/26;G09B9/32;H01F1/153;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B1/00;G03B1/815 主分类号 G03F7/095
代理机构 代理人
主权项
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