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发明名称 PULL APPARATUS FOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05238875(A) 申请公布日期 1993.09.17
申请号 JP19920075356 申请日期 1992.02.25
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 MATSUBARA JUNICHI;SASAKI HITOSHI;SHIMANUKI YASUSHI;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号 C30B15/00;C30B15/22;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/22 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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