| 发明名称 |
ROLLING BEARING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05240257(A) |
申请公布日期 |
1993.09.17 |
| 申请号 |
JP19920040848 |
申请日期 |
1992.02.27 |
| 申请人 |
NTN CORP |
发明人 |
KONDO HIROMITSU;YAMADA HIROSHI |
| 分类号 |
F16C33/32;F16C33/34;F16C33/62;(IPC1-7):F16C33/62 |
主分类号 |
F16C33/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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