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发明名称 DUENNFILM-HALBLEITERANORDUNG.
摘要
申请公布号 DE3883188(D1) 申请公布日期 1993.09.16
申请号 DE19883883188 申请日期 1988.12.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HALLER, IVAN, CHAPPAQUA NEW YORK 10514, US
分类号 H01L27/12;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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