MICROCHANNEL COOLING OF FACE DOWN BONDED CHIPS

摘要

Un réfrigérant de microcanaux est appliqué sur des circuits intégrés (30) à connexions à protubérances de façon à garder les avantages des connexions à protubérances, tout en surmontant les difficultés rencontrées dans le refroidissement des puces (125). Cette technique peut s'adapter soit aux cartes de circuits intégrés multipuces (120) dans un plan, soit aux piles de cartes de circuits (120) dans une structure d'interconnexion tridimensionnelle. Des puces (125) de circuits intégrés sont fixées sur la carte du circuit au moyen de connexions à protubérances ou de connexions à affaissement contrôlé. Une structure à microcanaux est connectée en permanence au dos de la puce. Un collecteur d'amenée du réfrigérant (31) répartit le réfrigérant dans la structure à microcanaux, et une étanchéité se composant d'un élastomère compressible (130) est menagée entre le collecteur d'amenée du réfrigérant et la structure à microcanaux. La puce du circuit intégré (125) et la structure à microcanaux sont raccordées pour former un module de circuit intégré remplaçable qui peut être facilement déconnecté du collecteur d'amenée du réfrigérant et de la carte du circuit. Les collecteurs d'amenée du réfrigérant peuvent être empilés entre les cartes des circuits et raccordés aux amenées du réfrigérant par un côté de la pile.