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发明名称
SEMICONDCUTOR DEVICE HAVING MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
KR930008868(B1)
申请公布日期
1993.09.16
申请号
KR19910009003
申请日期
1991.05.31
申请人
SEIKO EPSON CO., LTD.
发明人
YOKOYAMA, KENJI
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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