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发明名称 ENHANCED VERTICAL THERMAL REACTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0485461(A4) 申请公布日期 1993.09.15
申请号 EP19900911896 申请日期 1990.08.01
申请人 GENERAL SIGNAL CORPORATION 发明人 DEVILBISS, JOHN, J.;GLAZE, JAMES, A.;LUGOSI, STEVE;MCNAUGHTON, ALLEN, D.;OZARSKI, ROBERT, G.
分类号 F27B17/00;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 F27B17/00
代理机构 代理人
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