| 发明名称 | 一种椭圆偏振光谱仪的设计方法 | ||
| 摘要 | 传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器，且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器，其中一个起偏器固定，而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动，使得由探测器得到的信号为：I＝I<SUB>0</SUB>+I<SUB>1</SUB>cosω<SUB>0</SUB>t+I<SUB>2</SUB>cos2ω<SUB>0</SUB>t+I<SUB>3</SUB>cos3ω<SUB>0</SUB>t+I<SUB>4</SUB>cos4ω<SUB>0</SUB>t通过富利埃变换检测上式中4个交流成分，即可自洽求出完整的椭偏参数。采用本发明制造的椭圆偏振光谱仪，测量过程简单，数据精度高，自我定标方便，具有准确、灵敏和实时快速的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1076275A | 申请公布日期 | 1993.09.15 |
| 申请号 | CN93112366.6 | 申请日期 | 1993.03.12 |
| 申请人 | 复旦大学 | 发明人 | 陈良尧;钱佑华;冯星伟;苏毅 |
| 分类号 | G01J3/447 | 主分类号 | G01J3/447 |
| 代理机构 | 复旦大学专利事务所 | 代理人 | 陶金龙;姚静芳 |
| 主权项 | 1、一种采用如下程式设计的椭圆偏振光谱仪的设计方法。光源→单色仪→起偏器P<sub>x</sub>→样品→检偏器A→探测器→计算，上述程式中，起偏器P<sub>x</sub>被固定在某方位角，检偏器A作频率为ω连续旋转，由探测器得到的信号为： I=K<sub>0</sub>+K<sub>1</sub>cos2ωt+K<sub>2</sub>sin2ωt=K<sub>0</sub>+K<sub>A</sub>cos(2ωt+θ) 上述中，K<sub>0</sub>，K<sub>1</sub>和K<sub>2</sub>可通过富利埃变换求得： nnn K<sub>0</sub>=1/n∑I<sub>i</sub>， K<sub>1</sub>=2/n∑I<sub>i</sub>cos2A<sub>i</sub>， K<sub>2</sub>=2/n∑I<sub>i</sub>sin2A<sub>i</sub>i=1i=1i=1 其中A<sub>i</sub>=(ω<sub>0</sub>t)<sub>i</sub>为信号采样角度。 其特征在于，上述的起偏器P<sub>x</sub>采用两个起偏器P<sub>0</sub>和P 其中起偏器P<sub>0</sub>固定，检偏器A与起偏器P采用2∶1系数同步转动。使得由探测器得到的信号为： I=I<sub>0</sub>+I<sub>1</sub>cosω<sub>0</sub>t+I<sub>2</sub>cos2ω<sub>0</sub>t+I<sub>3</sub>cos3ω<sub>0</sub>t+I<sub>4</sub>cos4ω<sub>0</sub>t n 其中I<sub>k</sub>=2/n∑I<sub>i</sub>cos(KA<sub>i</sub>) K=1，2，3，4 i=1 A<sub>i</sub>=(ω<sub>0</sub>t)<sub>i</sub>为信号采样角度。 通过富利埃变换检测出上式中4个交流成份，由该4个交流分量的不同组合可自洽求出完整的椭偏参数。 | ||
| 地址 | 200433上海市邯郸路220号 | ||