HEATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFERS OR SUBSTRATES,申请号EP19910903497-传众专利搜索

发明名称	HEATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFERS OR SUBSTRATES
摘要
申请公布号	EP0511294(A4)	申请公布日期	1993.09.15
申请号	EP19910903497	申请日期	1991.01.18
申请人	G-SQUARED SEMICONDUCTOR CORPORATION	发明人	GRONET, CHRISTIAN, M.;GIBBONS, JAMES, F.
分类号	F27B5/14;C23C16/48;C30B25/10;C30B31/12;C30B31/18;F27B17/00;F27D99/00;G01J5/00;G01J5/06;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):F27B5/14;H05B1/02;H05B3/62	主分类号	F27B5/14
代理机构		代理人
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