发明名称 SEMICONDUCTOR FIELD OXIDE FORMATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP0318555(B1) 申请公布日期 1993.09.15
申请号 EP19880905313 申请日期 1988.05.31
申请人 NCR INTERNATIONAL INC. 发明人 LEE, STEVEN, SHAO-LUN
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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