发明名称 DEVICES AND METHODS FOR READING IDENTIFICATION MARKS ON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 EP0510108(A4) 申请公布日期 1993.09.15
申请号 EP19910904111 申请日期 1991.01.09
申请人 HINE DESIGN INC. 发明人 HINE, DEREK, L.;KROLAK, MICHAEL
分类号 G06K7/10;G06K9/20;G06T1/00;H01L21/02;(IPC1-7):G06K9/00 主分类号 G06K7/10
代理机构 代理人
主权项
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