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发明名称 METHOD OF DEPOSITING THIN METAL FILMS
摘要
申请公布号 GB9315771(D0) 申请公布日期 1993.09.15
申请号 GB19930015771 申请日期 1993.07.30
申请人 EPICHEM LIMITED 发明人
分类号 C01G15/00;C23C16/18;C23C16/20;C23C18/08;C23C18/10 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
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