发明名称 METHOD FOR PLANARIZED ISOLATION FOR CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 US5244827(A) 申请公布日期 1993.09.14
申请号 US19910785774 申请日期 1991.10.31
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 DIXIT, GIRISH A.;CHEN, FUSEN E.;MILLER, ROBERT O.
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/08 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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