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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05235145(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920039629 申请日期 1992.02.26
申请人 SONY CORP 发明人 MISHIMA KAZUTAKA
分类号 H01L21/677;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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