PLASMA ETCHING METHOD,申请号JP19920073408-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH05234956(A)	申请公布日期	1993.09.10
申请号	JP19920073408	申请日期	1992.02.24
申请人	KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	ISHIDA TAKESHIGE;KOMATSU HIDEO;ABE MASATOSHI;KIMURA YASUKI
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	C23F4/00
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