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发明名称 MICROWAVE PROCESS EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05234943(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920033038 申请日期 1992.02.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUYA KEN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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