发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH05235104(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920033364 申请日期 1992.02.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SOMAKI MOTOAKI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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