| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05234979(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920033278 |
申请日期 |
1992.02.20 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OSAKO TAKASHI;MORI TADASHI;TANAKA YOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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