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经营范围
发明名称
PLASMA EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH05234946(A)
申请公布日期
1993.09.10
申请号
JP19920032329
申请日期
1992.02.19
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ARAKI YOICHI;MOCHIZUKI SHUJI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/50;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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