发明名称 WIRING FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05234939(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920056595 申请日期 1992.02.10
申请人 SONY CORP 发明人 KANEMURA RYUICHI
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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