发明名称 PLASMA ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05234951(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920037499 申请日期 1992.02.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KOSHIO ATSUSHI;UCHIDA HIROBUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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