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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05234929(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920031646 申请日期 1992.02.19
申请人 SHARP CORP 发明人 TATEWAKI YOICHI
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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