发明名称 MULTI-STAGE ACCELERATING TUBE FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE ETC.
摘要
申请公布号 JPH05234699(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920034718 申请日期 1992.02.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA HIRONORI;MATSUI ISAO
分类号 H01J37/06;H05H5/03;(IPC1-7):H05H5/03 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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