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发明名称 LENS FOR CHARGED BEAM
摘要
申请公布号 JPH05234550(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920069231 申请日期 1992.02.18
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 OKAYAMA SHIGEO
分类号 H01J37/10;H01J37/12;H01J37/14;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/12 主分类号 H01J37/10
代理机构 代理人
主权项
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