发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05235352(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920075311 申请日期 1992.02.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIRAHATA MASAYOSHI;KOMORI SHIGEKI
分类号 H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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