| 发明名称 |
METHOD FOR SEALING HOLE FORMED ON SI SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05235375(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920036655 |
申请日期 |
1992.02.24 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
KISHI TADASHI;UEDA TOSHITSUGU;IKEDA KYOICHI |
| 分类号 |
G01L19/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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