| 发明名称 |
FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR THIN FILM AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05234917(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920072452 |
申请日期 |
1992.02.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
MATSUDA KYOJI;HINOTANI SHIGEHARU |
| 分类号 |
C30B25/14;G01N27/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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