FORMING METHOD FOR FLUORINE RESIN FILM,申请号JP19920036286-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FORMING METHOD FOR FLUORINE RESIN FILM
摘要
申请公布号	JPH05234987(A)	申请公布日期	1993.09.10
申请号	JP19920036286	申请日期	1992.02.24
申请人	FUJITSU LTD	发明人	KUDO HIROSHI
分类号	H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/90	主分类号	H01L21/312
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