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发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05235027(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19910209198 申请日期 1991.08.21
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NOGAWA KAORU
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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