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发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05235047(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920031128 申请日期 1992.02.19
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA NAOTAKA
分类号 H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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