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发明名称
ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05234560(A)
申请公布日期
1993.09.10
申请号
JP19910055873
申请日期
1991.02.27
申请人
SONY CORP
发明人
ASAI ATSUSHI
分类号
H01L21/265;C23C14/48;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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