| 发明名称 |
VACUUM EXHAUST SYSTEM CONDITION DISPLAY DEVICE FOR ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05234553(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920260546 |
申请日期 |
1992.09.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIDO MASAMI;MIYAMOTO TAKUJI |
| 分类号 |
G09G5/00;G09G5/02;H01J37/18;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
G09G5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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