| 发明名称 |
CLEANING METHOD AND DEVICE FOR SHADOW MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05234504(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920037564 |
申请日期 |
1992.02.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CHIBA ELECTRON KK |
发明人 |
OGAWA KIICHI;ITO SHIGEO;NARITA KATSUHISA |
| 分类号 |
C23F1/00;H01J9/14;(IPC1-7):H01J9/14 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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