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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0563010(B2) 申请公布日期 1993.09.09
申请号 JP19860278328 申请日期 1986.11.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGAWA SACHIKO;NAKAJIMA MASAYUKI;KAWAI AKIRA
分类号 B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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