| 发明名称 |
PROCESS FOR THE SELECTIVE DEPOSITION OF THIN DIAMOND FILM BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2260341(B) |
申请公布日期 |
1993.09.08 |
| 申请号 |
GB19920024173 |
申请日期 |
1992.11.18 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA * KOBE SEIKO SHO |
发明人 |
TAKAYOSHI * INOUE;HIROYUKI * TACHIBANA;AKIMITSU * NAKAUE;KAZUO * KUMAGAI;KOICHI * MIYATA;KOJI * KOBASHI |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/27;G03F7/00;H01L21/20;H01L21/314 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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