| 发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR PLASMA OUTSIDE DEPOSITION OF SILICA FREE FROM HYDROXYL IONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0401742(B1) |
申请公布日期 |
1993.09.08 |
| 申请号 |
EP19900110603 |
申请日期 |
1990.06.05 |
| 申请人 |
ALCATEL ALSTHOM COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE |
发明人 |
LE SERGENT, CHRISTIAN |
| 分类号 |
C03B37/018;C03B20/00;C03B37/014;C03C17/245 |
主分类号 |
C03B37/018 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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