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经营范围
发明名称
DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号
EP0387407(B1)
申请公布日期
1993.09.08
申请号
EP19890121637
申请日期
1989.11.23
申请人
LANDIS & GYR BUSINESS SUPPORT AG
发明人
DSCHEN TSING
分类号
G02B5/18;H01L21/306
主分类号
G02B5/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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