发明名称 Double pinned sensor utilizing a tensile film
摘要
申请公布号 US5241864(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 US19920899972 申请日期 1992.06.17
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 ADDIE, DAVID L.;GUTTERIDGE, RONALD J.;RISTIC, LJUBISA
分类号 B81B3/00;G01L1/14;G01L9/00;G01L9/12;G01P15/08;G01P15/125;H01L29/84 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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