| 发明名称 |
METHOD FOR THE FORMATION OF TIN BARRIER LAYER WITH PREFERENTIAL (111) CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5242860(A) |
申请公布日期 |
1993.09.07 |
| 申请号 |
US19910735397 |
申请日期 |
1991.07.24 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
NULMAN, JAIM;NGAN, KENNY K. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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