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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05230627(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920035421 申请日期 1992.02.21
申请人 YAMAHA CORP 发明人 YO TAKESHI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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