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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH05230642(A)
申请公布日期
1993.09.07
申请号
JP19920069981
申请日期
1992.02.21
申请人
NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD
发明人
BABA TAKASHI;TAKEYAMA KUNIHIKO
分类号
H01J37/34;C23C14/34;H01J37/08;H01J37/30
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
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