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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05230640(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920037666 申请日期 1992.02.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IWAMA RYUJI
分类号 H01L21/203;C23C14/34;H01L21/285 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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