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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05230661(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920031791 申请日期 1992.02.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKADA KENJI;MAKINO AKITAKA;TAMURA NAOYUKI;SHICHIDA HIROYUKI;OGAWA YOSHIFUMI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;G01N24/14;G01R33/64;H01L21/31;H05H1/30 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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