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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH05230660(A)
申请公布日期
1993.09.07
申请号
JP19920070442
申请日期
1992.02.20
申请人
ANELVA CORP
发明人
MURAKAMI SHUNICHI;AKETAGAWA KENICHI
分类号
C23C16/44;C23C16/455
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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