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发明名称 MECHANICAL CHARACTERISTIC MEASURING DEVICE FOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05232005(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920037447 申请日期 1992.02.25
申请人 NEC CORP 发明人 KIMURA MASATO
分类号 G01N3/00;G01N3/42 主分类号 G01N3/00
代理机构 代理人
主权项
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