| 发明名称 |
PROBE FOR SURFACE OBSERVING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05231862(A) |
申请公布日期 |
1993.09.07 |
| 申请号 |
JP19920034742 |
申请日期 |
1992.02.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA SHINJI;KAWAMURA YOSHIO;SATO KAZUO;HOSAKA SUMIO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q60/54 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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