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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR PREPARING ULTRA-HIGH PURITY NITROGEN
摘要
申请公布号
JPH05231764(A)
申请公布日期
1993.09.07
申请号
JP19920031020
申请日期
1992.02.18
申请人
NIPPON SANSO KK
发明人
SHIBATA IWAO;HONDA HIDEYUKI
分类号
C01B21/04;F25J3/04
主分类号
C01B21/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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