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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05230637(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19920037707 申请日期 1992.02.25
申请人 SANKYO SEIKI MFG CO LTD 发明人 ARIGA EIKICHI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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